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2022年半导体芯片实验室建设规划方案

2022年半导体芯片实验室建设规划方案

半导体芯片实验室重点研究低维半导体结构材料(量子阱、量子线和量子点材料)、宽禁带半导体材料、半导体光伏材料、特种薄膜材料等特殊条件下制备材料的生长工艺、结构性能和光、电、磁、热学等性质。

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半导体芯片实验室重点研究低维半导体结构材料(量子阱、量子线和量子点材料)、宽禁带半导体材料、半导体光伏材料、特种薄膜材料等特殊条件下制备材料的生长工艺、结构性能和光、电、磁、热学等性质。半导体芯片检测技术正朝着多样化发展,目前最常用的检测器是荧光和电化学检测器。随着固态电子器件的发展,芯片实验室是指将新型半导体材料直接与TFT电路或者CMOS电路集成,制备出成像、探测等多功能的芯片。下面科艺普小编给大家谈谈半导体芯片实验室建设最新规划方案。

半导体芯片实验室建设

 

 

一、半导体芯片实验室建设最新规划方案

  半导体芯片实验室由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

1、室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

2、垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

3、与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

4、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:

5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

6、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

7、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量。

 

半导体芯片实验室建设


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半导体芯片实验室建设
 

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